Моделирование технологических процессов микроэлектроники: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Наука , 1992 |
Физические характеристики: |
117, [3] с. : граф., схемы, табл. ; 24 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Труды ФТИАН
т. 3 |
1992, Т.3: Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|