Моделирование технологических процессов микроэлектроники: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 1992 |
| Физические характеристики: |
117, [3] с. : граф., схемы, табл. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
т. 3 |
Загрузка