|
|
|
|
|
00000nam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001454192 |
| 005 |
20180313134615.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180313d1992 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование технологических процессов микроэлектроники
$e [сборник статей]
$f главный редактор К. А. Валиев
$g ответственный редактор Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 117, [3] с.
$c граф., схемы, табл.
$d 24 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Труды ФТИАН
$f Российская академия наук, Физико-технологический институт
$v т. 3
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей и в подстрочных примечаниях
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br59880
$1 2001
$v Т. 3
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-126123
$a Валиев
$b К. А.
$g Камиль Ахметович
$4 651
|
| 702 |
# |
1 |
$a Махвиладзе
$b Т. М.
$g Тариэль Михайлович
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar9947005
$a Физико-технологический институт
$c Москва
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180313
$g psbo
|
