Изучение электронного и атомного строения нанослоев Al2O3 при контакте с TiN и диэлектриков на основе SiO2: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Конашук Алексей Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Конашук, А. С. |
Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2017 |
Физические характеристики: |
16 с. : цв. ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|