Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.15 Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика / Хамдохов Алим Залимович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хамдохов, А. З. |
| Опубликовано: | Нальчик , 2017 |
| Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||