Плазмохимические процессы в микроэлектронике / [составители: Л. А. Бунькова, Л. В. Куратова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1978 |
| Физические характеристики: |
37, [1] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 4 (229) |
Загрузка