Плазмохимические процессы в микроэлектронике / [составители: Л. А. Бунькова, Л. В. Куратова

Сохранено в:
Шифр документа: 153612-4,
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Электроника , 1978
Физические характеристики: 37, [1] с. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Тематические указатели литературы вып. 4 (229)

1978, Вып.4: Плазмохимические процессы в микроэлектронике

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
153612-4 ОФХ журналов и продолжающихся изданий (050) 13:4 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал