|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001434573 |
| 005 |
20171206181448.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20171206d1978 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазмохимические процессы в микроэлектронике
$f [составители: Л. А. Бунькова, Л. В. Куратова
$g научный редактор С. Н. Рябов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1978
|
| 215 |
# |
# |
$a 37, [1] с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тематические указатели литературы
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 4 (229)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77965
$1 2001
$v Вып. 4
|
| 702 |
# |
1 |
$a Бунькова
$b Л. А.
$4 220
|
| 702 |
# |
1 |
$a Куратова
$b Л. В.
$4 220
|
| 702 |
# |
1 |
$a Рябов
$b С. Н.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171124
$g psbo
|
