Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Москва : Электроника , 1970 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
51, [1] с. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Тематические указатели литературы
вып. 2а (134) |
1970, Вып.2а: Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой...
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||