
Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Электроника , 1970 |
Физические характеристики: |
51, [1] с. ; 20 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 2а (134) |
1970, Вып.2а: Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой...
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|