|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001425013 |
| 005 |
20180208133547.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20171031d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы
$f Митин Дмитрий Михайлович
$g [Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского]
|
| 210 |
# |
# |
$a Саратов
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14—16 (19 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6726825
$a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.16.08
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.30
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.13.30
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12957345
$a Митин
$b Д. М.
$g Дмитрий Михайлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171031
$g psbo
|
