Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Митин Дмитрий Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Митин, Д. М. |
| Опубликовано: | Саратов , 2017 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||