|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001416781 |
| 005 |
20171128115540.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170929d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технические основы технологии силовых кремниевых приборов с использованием метода термомиграции жидких зон
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Середин Борис Михайлович
$g [Южно-Российский государственный политехнический университет им. М. И. Платова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 31 с., включая обложку
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29—31
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1858363
$a СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5269573
$a КРЕМНИЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35939
$a ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12913292
$a Середин
$b Б. М.
$g Борис Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170929
$g psbo
|
