Физико-технические основы технологии силовых кремниевых приборов с использованием метода термомиграции жидких зон: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Середин Борис Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Середин, Б. М. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2017 |
| Физические характеристики: |
31 с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||