Разработка технологии синтеза тонкопленочных композитных Pt/C электродов методом магнетронного распыления для электрохимических сенсоров токсичных газов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Медведева Елена Александровна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Медведева, Е. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2017 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||