Получение и применение нитрида кремния в производстве полупроводниковых приборов: (составлен по материалам открытой зарубежной печати) / И. В. Кокорева
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Кокорева, И. В. |
Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1968 |
Физические характеристики: |
50, [2] с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1968, вып. 2 |
1968, Вып.2: Получение и применение пленок нитрида... / Кокорева И. В.. — (Серия "Микроэлектроника")
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|