Получение и применение нитрида кремния в производстве полупроводниковых приборов: (составлен по материалам открытой зарубежной печати) / И. В. Кокорева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кокорева, И. В. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1968 |
| Физические характеристики: |
50, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1968, вып. 2 |
1968, Вып.2: Получение и применение пленок нитрида... / Кокорева И. В.. — (Серия "Микроэлектроника")
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||