Получение и применение нитрида кремния в производстве полупроводниковых приборов: (составлен по материалам открытой зарубежной печати) / И. В. Кокорева

Сохранено в:
Шифр документа: 95334-2,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Кокорева, И. В.
Опубликовано: Москва : Институт "Электроника" , 1968
Физические характеристики: 50, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1968, вып. 2
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001395331
005 20170623093010.0
100 # # $a 20170623d1968 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Получение и применение нитрида кремния в производстве полупроводниковых приборов  $e (составлен по материалам открытой зарубежной печати)  $f И. В. Кокорева  $g [редактор А. Т. Неделина] 
210 # # $a Москва  $c Институт "Электроника"  $d 1968 
215 # # $a 50, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1968, вып. 2 
320 # # $a Библиография: с. 50―51 (15 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0001378091  $1 2001   $v 1968, вып. 2 
700 # 1 $a Кокорева  $b И. В.  $g Ирина Владимировна 
702 # 1 $a Неделина  $b А. Т.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170621  $g psbo