Источники излучения для рентгеновской литорафии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 гг.) / С. А. Иванов, С. В. Кириенко, Г. А. Щукин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, С. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
33, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 3 |
1988, Вып.3: Источники излучения для рентгеновской литографии / Иванов С. А.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||