|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001378743 |
| 005 |
20220510103914.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170420d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структурная и химическая модификация аморфных алмазоподобных кремний-углеродных пленок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.10 Физика полупроводников
$f Баринов Алексей Дмитриевич
$g [МЭИ]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—18 (19 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4185320
$a АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3211955
$a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35013
$a УГЛЕРОД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2437561
$a ХИМИЧЕСКАЯ МОДИФИКАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39194
$a ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12271226
$a Баринов
$b А. Д.
$g Алексей Дмитриевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170420
$g RCR
|
