Структурная и химическая модификация аморфных алмазоподобных кремний-углеродных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Баринов Алексей Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баринов, А. Д. |
| Опубликовано: | Москва , 2017 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||