|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001376832 |
| 005 |
20170414112431.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170414d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические методы анализа в производстве интегральных схем
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.)
$f [Г. И. Завадский, А. Г. Кирилюк, А. А. Савенко
$g редактор Т. В. Кулешо]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 33 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 8
$i Управление качеством, метрология, стандартизация
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1982, вып. 1
|
| 300 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23―33 (258 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1650 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000429842
$1 2001
$v 1982, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Завадский
$b Г. И.
$g Геннадий Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кирилюк
$b А. Г.
$g Анатолий Гаврилович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Савенко
$b А. А.
$g Андрей Андреевич
|
| 702 |
# |
1 |
$a Кулешо
$b Т. В.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170413
$g psbo
|
