Физико-химические методы анализа в производстве интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.) / [Г. И. Завадский, А. Г. Кирилюк, А. А. Савенко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Завадский, Г. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
33 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 1 |
1982, Вып.1: Физико-химические методы анализа в производстве интегральных...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||