Проекционная электронная литография: (аналитический обзор) / [О. Т. Румов, В. М. Сутырин, Х. И. Фейгин]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Румов, О. Т. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 13 |
1979, №13: Проекционная электронная литография. Аналитический обзор
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||