Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / В. Ю. Васильев

Сохранено в:
Шифр документа: 216247-3,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Васильев, В. Ю.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990
Физические характеристики: 56 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1990, вып. 3
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375584
005 20170412091858.0
100 # # $a 20170412d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.)  $f В. Ю. Васильев 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1990 
215 # # $a 56 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1990, вып. 3 
320 # # $a Библиография: с. 50―56 (80 назв.) 
345 # # $9 750 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1990, вып. 3 
700 # 1 $a Васильев  $b В. Ю.  $g Вячеслав Юрьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170412  $g psbo 

Схожие документы