Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1988 гг.) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бакун, А. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
| Физические характеристики: |
48 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 7 |
Загрузка