Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1988 гг.) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова

Сохранено в:
Шифр документа: 207538-7,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Бакун, А. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989
Физические характеристики: 48 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1989, вып. 7

1989, №7: Фотохимические пленки диоксида... / Бакун А. В., Щеглова В. В.

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
207538-7 ОФХ журналов и продолжающихся изданий (050) 14:2 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал