Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1988 гг.) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Бакун, А. В. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
Физические характеристики: |
48 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 7 |
1989, №7: Фотохимические пленки диоксида... / Бакун А. В., Щеглова В. В.
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|