Механические напряжения в тонких пленках: (реферативно-аналитический обзор) / А. С. Романов, В. В. Щеглова

Сохранено в:
Шифр документа: 173690-6,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Романов, А. С.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981
Физические характеристики: 68 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1981, вып. 6
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375434
005 20170411153017.0
100 # # $a 20170411d1981 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Механические напряжения в тонких пленках  $e (реферативно-аналитический обзор)  $f А. С. Романов, В. В. Щеглова 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1981 
215 # # $a 68 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1981, вып. 6 
320 # # $a Библиография: с. 63―68 (87 назв.) 
345 # # $9 1879 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1981, вып. 6 
700 # 1 $a Романов  $b А. С.  $g Александр Сергеевич 
701 # 1 $a Щеглова  $b В. В.  $g Валентина Викторовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170410  $g psbo