Механические напряжения в тонких пленках: (реферативно-аналитический обзор) / А. С. Романов, В. В. Щеглова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Романов, А. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
68 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 6 |
1981, №6: Механические напряжения в тонких пленках
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||