Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы) / И. А. Голод [и др.]
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Голод, И. А. |
| Publié: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Description matérielle: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 1 |
1988, №1: Нитрид кремния, синтезированный в реакторе... / Голод И. А.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||