Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы) / И. А. Голод [и др.]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Голод, И. А. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 1 |
1988, №1: Нитрид кремния, синтезированный в реакторе... / Голод И. А.
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||