Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы) / И. А. Голод [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Голод, И. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 1 |
Загрузка