|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001373759 |
| 005 |
20170404134742.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170404d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы)
$f И. А. Голод [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 43 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 2
$i Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1988, вып. 1
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 38―43 (70 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2070 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1988, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Голод
$b И. А.
$g Игорь Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170404
$g psbo
|
