Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом. Ч. 1 / [Д. Б. Зворыкин и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зворыкин, Д. Б. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
| Физические характеристики: |
85 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 11 |
1975, №11: Термическое оборудование полупроводникового... Ч.I
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||