|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001368320 |
| 005 |
20170320092513.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170320d1981 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов
$e (по описаниям зарубежных изобретений за 1971―1980 гг.)
$f Н. К. Беляева, А. И. Маштакова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 49, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 1
$i Электроника СВЧ
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1981, вып. 12
|
| 300 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 41―48 (70 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1200 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000420969
$1 2001
$v 1981, вып. 12
|
| 700 |
# |
1 |
$a Беляева
$b Н. К.
$g Нина Константиновна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Маштакова
$b А. И.
$g Антонина Ивановна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170320
$g psbo
|
