Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов: (по описаниям зарубежных изобретений за 1971―1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Беляева, Н. К. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
49, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 12 |
1981, Вып.12: Травление в плазме СВЧ И ВЧ газовых разрядов
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||