Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальности 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах, 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Клунникова Юлия Владимировна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//209009(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Клунникова, Ю. В. (род. 1986)
Опубликовано: Таганрог , 2016
Физические характеристики: 40 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001354342
005 20190821151210.0
100 # # $a 20170127d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальности 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах, 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Клунникова Юлия Владимировна  $g [Южный федеральный университет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2016 
215 # # $a 40 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 32—40 (103 назв.) 
488 # 1 $1 001BY-NLB-br0001545274 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52876  $a ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326536  $a САПФИРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35939  $a ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21799  $a ОПТИМИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4459877  $a Клунникова  $b Ю. В.  $g Юлия Владимировна  $c кандидат технических наук  $f род. 1986 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170127  $g RCR