Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальности 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах, 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Клунникова Юлия Владимировна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Клунникова, Ю. В. (род. 1986) |
| Published: | Таганрог , 2016 |
| Physical Description: |
40 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||