Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы: монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//603065(039), 1Н//603066(039),
Вид документа: Книги
Автор: Папина, С. С.
Опубликовано: Минск : Республиканский институт профессионального образования , 2016
Физические характеристики: 117 с. : ил., табл. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001352216
005 20170317104403.0
010 # # $a 978-985-503-628-0 
100 # # $a 20170121d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы  $e монография  $f С. С. Папина, В. Л. Басинюк  $g Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси 
210 # # $a Минск  $c Республиканский институт профессионального образования  $d 2016 
215 # # $a 117 с.  $c ил., табл.  $d 20 см 
320 # # $a Библиография: с. 109―117 (91 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24620  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2136009  $a ОБРАБОТКА РЕЗАНИЕМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55319  $a ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6167885  $a ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3263754  $a КОМБИНИРОВАННЫЕ ПРИВОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1553  $a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ЭЛЕКТРОПРИВОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25745  $a ПРОГРАММНОЕ УПРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2133389  $a ЧИСЛОВОЕ ПРОГРАММНОЕ УПРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85378  $a ЗУБЧАТО-РЕМЕННЫЕ ПЕРЕДАЧИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9305  $a ДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2519494  $a ПРОЕКТИРОВАНИЕ С ПРИМЕНЕНИЕМ МОДЕЛЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17280  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33808  $a ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:658.274-187-021.416-022.17  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.9.06-83-529-231.322.3/.5  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.53.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.41.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.29.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.03.45  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.03.14  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.85  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11800854  $a Папина  $b С. С.  $g Сергей Степанович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-301960  $a Басинюк  $b В. Л.  $g Владимир Леонидович  $c доктор технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2492220  $a Объединенный институт машиностроения  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170121  $g psbo