Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы: монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Папина, С. С. |
| Опубликовано: | Минск : Республиканский институт профессионального образования , 2016 |
| Физические характеристики: |
117 с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||