Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.02.05 Механика жидкости, газа и плазмы / Баранова Лариса Васильевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//208651(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баранова, Л. В.
Опубликовано: Омск , 2016
Физические характеристики: 22, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ГАЗОВЫЕ СМЕСИ
АРГОН
СИЛАНЫ
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ РАЗРЯДЫ
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
ПЛАЗМАТРОНЫ
ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001351657
005 20170420153626.0
100 # # $a 20170119d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.02.05 Механика жидкости, газа и плазмы  $f Баранова Лариса Васильевна  $g [Омский государственныйуниверситет им. Ф. М. Достоевского] 
210 # # $a Омск  $d 2016 
215 # # $a 22, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография в конце текста (13 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6726825  $a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6756  $a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53274  $a АРГОН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2687623  $a СИЛАНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2717679  $a ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23666  $a ПЛАЗМАТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21821  $a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36470  $a ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.27.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.30  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.02.05  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11788855  $a Баранова  $b Л. В.  $g Лариса Васильевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170119  $g psbo 

Схожие документы