Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.02.05 Механика жидкости, газа и плазмы / Баранова Лариса Васильевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранова, Л. В. |
| Опубликовано: | Омск , 2016 |
| Физические характеристики: |
22, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||