Моделирование процесса доставки материала к подложке при ионно-плазменном распылении ВТСП / Ф. А. Чудновский Б. Ш. Элькин, А. А. Фурсенко и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Ленинград : ФТИ , 1990 |
| Физические характеристики: |
29 с. : ил. ; 20 см.
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
Препринт
№ 1486 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||