|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001342516 |
| 005 |
20180802144529.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20161208d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования (приборостроение)
$f Корпачев Максим Юрьевич
$g [Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Московский технологический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—23 (39 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13303454
$a УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1589
$a АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29086
$a САПР
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2466249
$a ПОДДЕРЖКИ ПРИНЯТИЯ РЕШЕНИЙ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.85
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 28.29.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11596270
$a Корпачев
$b М. Ю.
$g Максим Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161208
$g psbo
|
