Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования (приборостроение) / Корпачев Максим Юрьевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Корпачев, М. Ю. |
Опубликовано: | Москва , 2016 |
Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|