|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001308091 |
| 005 |
20161004145732.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160805d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Киселева Евгения Сергеевна
$g [Национальный исследовательский Томский политехнический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23—25
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar57424
$a ДИОКСИД ТИТАНА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35855
$a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2899203
$a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a титана оксинитрид
|
| 610 |
0 |
# |
$a тытану аксінітрыд
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11170639
$a Киселева
$b Е. С.
$g Евгения Сергеевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160805
$g psbo
|
