Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Киселева Евгения Сергеевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Киселева, Е. С. |
| Опубликовано: | Томск , 2016 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||