Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Турцевич Аркадий Степанович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Publicado: | Минск , 2004 |
| Descripción Física: |
26 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||