Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Турцевич Аркадий Степанович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//200719(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Опубликовано: Минск , 2004
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Н//200719(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:93 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал