Обеспечение единства измерений геометрических параметров шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне методами интерферометрии высокого разрешения: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.11.15 Метрология / Золотаревский Сергей Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//195215(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Золотаревский, С. Ю.
Опубликовано: Москва , 2015
Физические характеристики: 32 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001231934
005 20151123153251.0
100 # # $a 20151020d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Обеспечение единства измерений геометрических параметров шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне методами интерферометрии высокого разрешения  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.11.15 Метрология  $f Золотаревский Сергей Юрьевич  $g [Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы] 
210 # # $a Москва  $d 2015 
215 # # $a 32 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 28—32 (43 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38082  $a ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2748278  $a ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar4137700  $a НАНОМЕТРОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3260676  $a БЕСКОНТАКТНЫЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12020  $a ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.15  $2 oksvnk 
686 # # $a 90.27.27  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 90.27.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.45.37  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1610057  $a Золотаревский  $b С. Ю.  $g Сергей Юрьевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151020  $g psbo